低温等离子净化器处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场+电子→高能电子
(2)高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优点的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
UV光氧净化器包括进气口、出气口、反应腔，还包括进气腔和出气腔，进气口、进气腔、反应腔、出气腔、出气口按顺序连接，反应腔内设置有若干个气体处理模块，气体处理模块由光解层和过滤层组成，光解层由波长为170nm-184.9nm的紫外线的紫外线灯管组成，过滤层由装有活性炭的过滤网组成，光解层设置在气体处理模块内靠近进气腔的一侧，过滤层设置在气体处理模块内远离进气腔的一侧，需除臭气体经进气口进入后经进气腔输送至反应腔内的气体处理模块，在气体处理模块中经光解层及过滤层处理后流经处气腔，经出气口排出。
能高效去除挥发性有机物、无机物、硫化氢、氨气、硫醇等主要污染物，以及各种恶臭味，脱臭效率可达99%以上，且本设备无任何机械运作，无噪音，无需专人管理和日常维护，只需作定期检查，本设备能耗低，设备占地面积小，自重轻，适用于布置紧凑、场地狭小等特殊条件，且可根据条件灵活变换安装位置，不受位置条件影响。
等离子净化器在进行工作的时候主要是在外加电场的作用下，放电产生出大量的携能电子来轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，之后引发一系列的物理化学反应，使得大分子的污染物转变成为小分子的安全物质，或者是将有毒的物质转变成无毒或是低毒的物质。等离子净化器通过适当对它反映条件的控制，能够实现在一般情况下难以实现的速度或者是很慢的化学反应变得十分的迅速。
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